產品參數(shù)
01.腔體：高真空腔體
02.樣品臺尺寸：4英寸
03.樣品固定：彈簧壓片
04.觀察窗口：6英寸
05.觀察窗口材質：藍寶石（保證紫外光的透光性）
06.真空度：2帕
07.探針臂接口：4個探針臂接口
08.電學測試接口：3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1
09.輔助接口：真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護氣接口、表面溫度熱電阻接口*2
10.制冷方式：液氮
11.溫度范圍：-196℃~600℃
12.溫控精度：±0.1℃
13.穩(wěn)定性：-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃
14.外形：650mm長*650mm寬*460mm高
15.重量：約100千克
光學系統(tǒng)
01.顯微鏡類型：單筒顯微鏡
02.放大倍率：20X-180X
03.移動行程： X軸行程100MM Y軸行程50MM Z軸行程50mm
04.光源：外置LED環(huán)形光源
05.CCD：2800萬像素
06.顯示器：10寸LED
探針臂
01.X-Y-Z移動行程：20mm*20mm*20mm
02.結構：外置探針臂，真空波紋管結構
03.移動精度：10微米
探針組件
01.線纜：同軸線
02.接頭類型：SMA
03.漏電精度：10fA
04.固定探針：夾緊固定
05.頻率支持：DC-67GHZ
06.針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高壓組件
01.線纜：高壓電纜10KV
02.接頭類型：香蕉頭
其他組件
01.真空組件：機械泵
02.冷源組件：10L液氮罐
